普泰克 光學(xué)鏡組溫控chiller,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,致力于為泛半導(dǎo)體及精密光學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈提供高穩(wěn)定、低振動(dòng)、高精度的溫度控制解決方案。
普泰克 半導(dǎo)體光學(xué)鏡組溫控,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,致力于為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高穩(wěn)定、高精度的溫度控制解決方案。
普泰克 涂布顯影設(shè)備變頻氟化液冷卻機(jī),結(jié)合了變頻動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)技術(shù)與電子級(jí)氟化液介質(zhì)的獨(dú)特物理化學(xué)性質(zhì),致力于為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高潔凈、高穩(wěn)定性的精密溫控解決方案。
普泰克 Photo/Track Chiller,是一款專為半導(dǎo)體光刻前道涂膠顯影(Track)工藝量身定制的核心溫控裝備。
普泰克 涂膠顯影水冷機(jī),依托其在精密熱管理領(lǐng)域的技術(shù)積累,致力于為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定、可靠的溫度控制解決方案。
普泰克 光刻后蝕刻溫控,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的技術(shù)積累,致力于為半導(dǎo)體前道核心制程提供穩(wěn)定、可靠的溫度控制解決方案。
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